High-NA EUV: Е-тесты подтверждают прогресс в развитии металлических проводящих структур
18:18, февраля 27, 2025 Исследовательский институт imec сообщил об успешных результатах Е-тестов в литографии High-NA EUV. Испытания затронули металлизированные проводящие структуры с шагом всего 20 нм. Этот этап продвигает разработку производственного процесса и запуск ск...
Источник: www.hardwareluxx.ru